成长潜力奖
张江高科技园区
工博会创新奖-12英寸65纳米单片晶圆清洗设备
中国国际工业博览会组委会
发明专利证书
专利号:ZL 2009 1 0050834.2
中国半导体创新产品和技术
中国半导体行业协会、中国电子材料行业协会、中国电子专用设备工业协会、中国电子报社
年度优秀创业者
优秀参展产品奖-无应力抛铜
中国半导体行业协会、中国国际贸易促进委员会、上海集成电路行业协会
优秀创业企业
突出贡献企业
上海市张江高新技术产业开发区管理委员会、上海市人力资源和社会保障局、上海市公务员局
优秀参展金奖
中国半导体行业协会、中国国际贸易促进委员会、上海集成电路行业协会
创业大赛优胜企业
创业大赛组委会、上海市科技创业中心、上海市大学生科技创业基金会
科学技术奖二等奖-单片晶圆清洗设备研发与应用
上海市浦东新区人民政府
工博会铜奖-兆声波单片清洗设备
中国国际工业博览会组委会
国家高新区百新企业
中国高新技术产业导报、中国高新技术产业开发区协会、中国高新区研究中心
发明专利证书
专利号:ZL 2014 8 0079603.3
发明专利证书
专利号:ZL 2015 8 0080188.8
新制程快速量产
中芯
2015年中国半导体设备十强单位
中国电子专用设备工业协会
感谢牌
海力士
科学技术奖三等奖-单片晶圆涂胶设备研发与应用
上海市浦东新区人民政府
上海市专利工作试点企业
上海市知识产权局
微信年度企业
2016年中国半导体设备行业十强
中国电子专用设备工业协会
2017年中国半导体设备十强单位
中国电子专用设备工业协会
中国半导体创新产品和技术奖-先进封装电镀设备
中国半导体行业协会、中国电子材料行业协会、中国电子专用设备工业协会、中国电子报社
中国半导体创新产品和技术奖-TEBO
中国半导体行业协会、中国电子材料行业协会、中国电子专用设备工业协会、中国电子报社
创新奖-兆声波单片清洗机
集成电路产业技术创新战略联盟
2018年度优秀供应商
华力
2018年中国半导体设备五强企业
中国半导体行业协会
最佳成果奖
SK海力士
2019年卓越影响力上市企业
张江科投企业年度交流会
杰出企业
久友基金
华虹集团2019年供应商大会感谢牌
华虹集团
科技创新奖
中国国际工业博览会组委会
2018年中国半导体设备十强单位
中国电子专用设备工业协会
2018年度上海市集成电路设备业销售前十名
上海市集成电路行业协会
2019年度最具潜力供应商
华力半导体
开放创新合作奖
华虹集团
中国半导体创新产品和技术奖-Tahoe
中国半导体行业协会、中国电子材料行业协会、中国电子专用设备工业协会、中国电子报社
上海市集成电路先进湿法工艺设备重点实验室
上海市科学技术委员会
2019年度中国半导体设备五强企业
中国半导体行业协会
2019年度上海集成电路行业设备业前十名
上海市集成电路行业协会
上海市科学技术奖一等奖
上海市人民政府
优秀创新奖
SMIC、SMNC国产设备评审委员会
感谢牌
海力士无锡CNC技术全体成员
上海职工劳动和技能竞赛二等奖
上海市总工会
2020-2021年度上海设计100+入围作品
上海设计100+组委会
上海市集成电路设备业销售前十名
行业杰出贡献奖
高新技术企业证书
上海市科学技术委员会、上海市财政局、国家税务总局上海市税务局
上海市集成电路外资企业半导体设备业销售前五名
上海市集成电路行业协会
成果产业化奖
第五届“IC创新奖”
上海市企业技术中心
上海市经济和信息化委员会、国家税务总局上海市税务局、上海市财政局、上海海关
进门财经
2022年最佳机构覆盖IR团队
2022年度公益慈善奖
中共浦东新区川沙镇委员会、浦东新区川沙新镇人民政府
TBB上海制造业品牌价值榜/SFEO上海企业品牌成长榜
上海市工业经济联合会、上海市经济团体联合会、上海市商业联合会
2022年度上海市集成电路内资半导体设备业销售前五名
上海市集成电路行业协会
专精特新“小巨人”企业
工业和信息化部
临港集团园区领军之星
临港集团
2023电子信息年度十大创新技术（SAPS）
中国电子商会、数字经济观察网
2023年度企业社会公益奖
上海浦东川沙经济园区有限公司
2023年度浦东新区经济突出贡献奖
上海市浦东新区人民政府
